TSMC、干ばつ対策に先進的な廃水処理施設を建設

台湾積体電路製造（TSMC）は、最先端のプロセス技術を用いて先進的なチップを製造するための最新設備を備えた、世界最高水準の半導体製造施設を既に保有しています。日経新聞の報道によると、同社は年末までに最先端の廃水処理施設も保有し、産業廃水をチップ製造に活用できるようになる予定です。  

日経新聞によると、TSMCは水供給の改善を目指し、世界初の産業廃水処理センターを建設している。この施設は「最終的には半導体生産に必要な1日あたりの水需要のほぼ半分を賄う」ことが可能になるという。この施設は台南市近郊に建設され、2021年末までに稼働を開始する予定だ。 

TSMCの2019年社会責任報告書によると、2019年には同社の全施設で6,430万トン（1日あたり17万6,160トン）の水を消費し、さらに9,010万トン（1日あたり24万6,850トン）の超純水を消費しました。同社は使用した水の86.7%をリサイクルし、2019年には1億3,360万トン（1日あたり36万6,030トン）の水を節約しました。  

半導体製造には様々な種類の水が必要であり、工程によっては超純水が、その他の工程では清浄水が必要となる。報告書では、この工場が産業廃水から超純水を製造できるかどうかは不明だが、TSMCが言及している数値は両方に当てはまる可能性がある。  

「段階的に産業廃水の処理能力を高め、2024年までには半導体製造工程に再利用できる水を毎日6万7000トン生成できるようになる」とTSMCの欧州・アジア販売担当上級副社長で企業社会責任委員会委員長のローラ・ホー氏は述べた。 

台湾で続く干ばつにより、当局はすでに住民への水供給を制限し、農家から半導体メーカーへの水供給を転換させています。一方、TSMCとUMCは地域の水消費量を削減するため、トラック単位で水を購入せざるを得なくなりました。TSMCはすでに消費水の4分の3以上を再利用していますが、ファウンドリーの水供給への依存を減らすには不十分であるため、高度な廃水処理施設を建設しています。