中国の半導体メーカーは、国内のウエハ製造装置エコシステムを支援し、海外製装置への依存を減らすため、生産の一部を中国製装置に徐々に移行させています。中国にはすでに、1～2種類の装置に特化した半導体製造装置メーカーが複数存在し、2024年には売上高記録を更新しました。しかし、あまり知られていないファーウェイ関連企業であるSi Carrier Technologiesは、セミコン・チャイナで発表し、Zhininrenが再公開したカタログの中で、ほぼすべての種類のウエハ処理装置を取り扱っていることを明らかにしました。
SiCarrier Technologiesは、今年のセミコン・チャイナで広く話題となったスタートアップ企業ですが、中華人民共和国以外ではほとんど知られていません。日経新聞によると、同社はHuaweiと密接な関係があり、4年前に深圳で設立されました。市場をリードするASML、アプライド・マテリアルズ、KLA、ラム・リサーチなどの前工程半導体製造装置に対抗できる世界クラスのファブツールの開発を目指しています。SiCarrierの主要投資家は、彭鑫衛集成電路製造やSwaySure Technologyなど、Huaweiと関係のある他の半導体ベンチャーを支援する政府系ファンドである深圳大投資集団です。
SiCarrierは現在、上海、北京、西安、武漢、成都、杭州、そして海外に研究開発センターを構えています。エンドツーエンドの開発チェーンは、材料、部品、そしてシステム全体を網羅しています。迅速な開発をサポートするため、ASMLやApplied Materialsといった世界有数の企業からシニアエンジニアを積極的に採用しています。
計測および検査の分野では、カタログには、パターン付きおよびパターンなしのウェーハの両方の光学検査用のツール、ナノスケール解像度での形態検査用の原子間力顕微鏡、および薄膜の厚さ、元素組成、および結晶化度の高度な測定システムが含まれています。
最後に、SiCarrierは、ウェーハ電気性能試験、良品ダイ試験、機能試験など、様々な試験装置も保有しています。ただし、これらのツールは現在、主にパワー半導体を対象としています。
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現時点では、SiCarrierがリストアップしているすべての装置を注文・入手できるかどうかは不明です。また、これらの装置がASML、Applied、KLA、Lam、TELなどの装置に依存している既存の生産フローと互換性があるかどうかも不明です。
アントン・シロフはTom's Hardwareの寄稿ライターです。過去数十年にわたり、CPUやGPUからスーパーコンピュータ、最新のプロセス技術や最新の製造ツールからハイテク業界のトレンドまで、あらゆる分野をカバーしてきました。
