EUV製造はまだ始まったばかりで、EUVシステムサプライヤーのASMLは既に供給問題に直面している可能性があります。第3四半期決算発表において、ASMLはEUVシステムの受注を23件獲得したことを明らかにしました。これは、同社が過去4四半期で納入したシステム数の合計に相当します。このオランダ企業は、この四半期に7台のEUVシステムを納入し、170枚/時（WPH）のウェーハ処理能力を備えた新型NXE:3400C EUVシステムの初号機を出荷しました。
EUV予約記録
WikiChipによると、2019年に入ってから既に36件のEUV受注を獲得しており、ASMLは40台規模の受注残を抱えている。EUV受注急増の理由として、ASMLは顧客がロジックとDRAMの計画に自信を深めたためだと述べ、顧客が後回しにされることを恐れているわけではないと否定し、ASMLの生産能力を顧客が認識していると述べた。
ASMLは以前、2019年に30台のシステムを納入したいと述べていた。しかし、これまでの納入台数は2018年と同じ18台であり、ASMLがこの目標を達成することはできないだろう。同社は、2019年中に合計26台のシステムを第4四半期に平均販売価格1億3,200万ドルで8台の納入を計画していると述べている。WikiChipによると、年末までに45台のNXE:3400B EUVシステムが現場に配備される予定だという。
同社は以前発表した通り、一時的な供給制約のため、4つのシステムの出荷を2020年初頭に延期しました。ASMLは、2020年には延期された4つのシステムを含め、約35台の出荷を計画していると発表しています。ASMLは、この生産台数を多少増やす可能性はあるが、あくまでも保守的な計画だとしています。また、長期的には、製造スペースを追加することなく、年間最大50台のシステムを生産できると述べています。
NXE:3400C 配送
第3四半期には、新型EUVシステムNXE:3400Cが初出荷されました。7台のうち3台がこの新型システムでした。NXE:3400Cの定格出力は170WPHで、NXE:3400Bの125WPHと比較して35%向上しています。これにより、NXE:3400Cは急速に普及し、近い将来、EUVリソグラフィの主力となるでしょう。第4四半期の8台のうち6台はNXE:3400Cで、2020年に予定されているすべてのシステムもこのモデルになると予想されています。ASMLにとって有利なことに、NXE:3400Cの販売価格は約30%高くなっています。
TSMCとSamsungはともに、7nmおよびN7+プロセスノードのEUV（NXE:3400B）生産を開始しており、来年には5nmプロセスノードでこの技術のより広範な活用を計画しています。ASMLは、7nmで平均10層、5nmで平均20層を生産する予定です。（月産45,000枚のウェーハを生産する工場では、層ごとに1つのツールが必要になります。）Intelも、2021年の7nm生産に向けて、アリゾナのFab 42に70億ドル相当のツールを装備するべく精力的に取り組んでいます。ASMLによると、NXE:3400CはDRAM 1zおよび1aノードのいくつかの層にも使用される予定です。
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ASMLは第3四半期に33億ドルの売上高を計上し、そのうち26億ドルは純システム売上高でした。そのうち約80%はロジックアプリケーション向けでした。純利益は7億ドル、粗利益率は44%でした。研究開発費は5億5,000万ドルでした。第4四半期の売上高は43億ドルを見込んでいます。
