ASMLとImecは今週、Imecの研究者と開発者がASMLの最新ツールを利用できるようにするための5年間のパートナーシップを締結しました。この提携は、ASMLの最新リソグラフィ（高NAを含む）、計測技術、検査ツールを必要とする2nm以下のプロセス技術に焦点を当てています。Imecは、学術機関や様々な企業のエンジニアが研究に必要な最新装置を利用できるようにし、ASMLは自社のツールが最先端プロセス技術に組み込まれることを保証します。
この提携により、imecはASMLの最先端ウェーハ製造装置（WFE）の包括的なラインナップにアクセスできるようになります。これには、最高級のTwinscan NXT（DUV）、Twinscan NXE（開口数0.33の光学系を搭載した低NA EUV装置）、Twinscan EXE（開口数0.55の光学系を搭載した高NA EUV装置）リソグラフィーシステムが含まれます。さらに、imecはASMLのYieldStar光学計測ソリューションとHMIのシングルビームおよびマルチビーム検査ツールを自社施設に導入します。
ASMLとImecの研究者はこれまで、主にオランダのフェルトホーフェンにあるASMLの専用研究施設で、高NA（0.55 NA）EUVツールの開発に取り組んできました。ASMLは、これらの第1世代の高NA EUV装置を自社の施設に設置し、初期テスト、評価、そしてImecやその他のパートナーとの共同研究に取り組んでいます。
この新たな契約により、Imecはベルギーのルーヴェンにある自社の研究ライン、具体的には最先端のパイロット施設と、EUおよびフランダースが資金提供するNanoICパイロットラインにおいて、高開口数（High-NA）装置に直接、現地でアクセスできるようになります。これは、Imecの研究者が自社施設で高開口数（High-NA）EUV技術を直接使用できる初めてのケースであり、研究のスピードアップにつながります。
Imec に高 NA EUV 技術へのアクセスを提供することは、Next Gen-7A プロジェクト (IPCEI22201) に含まれており、欧州共通利益重要プロジェクト (IPCEI) としてオランダ政府から資金提供を受けています。
Tom's Hardware の最高のニュースと詳細なレビューをあなたの受信箱に直接お届けします。
「当社はASMLとの長年にわたる独自のパートナーシップを継続し、30年以上にわたり業界に最先端のパターニングソリューションを提供できることを嬉しく思います」とImecの社長兼CEOであるLuc Van den hove氏は述べている。
ASMLの製品ポートフォリオ全体を取り込むことで、当社のパイロットラインの能力をさらに拡大・成熟させ、半導体エコシステム全体に最先端の研究開発を提供し、AI主導の技術進歩の課題に取り組むことができます。Imecは持続可能なイノベーションに重点を置いているため、パートナーシップにこの点が明確に含まれていたことは大きなメリットです。
ASML と Imec は、ロジック チップの次世代 2nm 未満ノードでの共同作業に加えて、DRAM プロセス技術、シリコン フォトニクス、高度なパッケージング ソリューションでも協力する予定です。
アントン・シロフはTom's Hardwareの寄稿ライターです。過去数十年にわたり、CPUやGPUからスーパーコンピュータ、最新のプロセス技術や最新の製造ツールからハイテク業界のトレンドまで、あらゆる分野をカバーしてきました。
